FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專(zhuān)用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng),在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到最新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。
最大觀察樣品:Ø300 mm晶片
觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
使用CFI60光學(xué)系統(tǒng),徹底消除耀斑影響,對(duì)比度更高,成象更加清晰、明亮;
物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求;
主機(jī)剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面,使用方便,即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞;
L300ND/反射.透射照明兩用型
| 規(guī)格 |
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
| (落射照明型) |
(透射/落射照明型) |
| 主機(jī) |
內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠?;?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源 |
| 用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動(dòng)控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤?/td>
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| 光圈葉片控制器 |
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| 物鏡轉(zhuǎn)換器:具備物鏡轉(zhuǎn)換器 |
| 對(duì)中功能的電動(dòng)通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器 |
| — |
反射/透射切換器 |
調(diào)焦 部分 |
對(duì)焦部:行程29mm |
| 粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對(duì)焦機(jī)能) |
| 微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以u(píng)m為單位) |
反射 照明部 |
12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 |
| 孔徑光闌(電動(dòng).可調(diào)心)、視場(chǎng)光闌(固定.帶對(duì)焦目標(biāo)) |
| 可插入小孔光闌滑塊(OPTION) |
| 可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器 |
| 觀察方法:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉、反射熒光 |
| (僅用于L300N/L300ND/L200ND) |
透射 照明部 |
— |
12W50W高亮度鹵素?zé)?br data-filtered="filtered" />照明裝置 |
| 內(nèi)置孔徑光闌 |
| 內(nèi)置LWD聚光器 |
| 接口 |
USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 |
| 鏡筒 |
L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒(視角0~30°) |
| 視場(chǎng)數(shù)25、光分光100:0/0:100 |
| L2-TT2A超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒(俯角0~30°) |
| 視場(chǎng)數(shù)25、光分光100:0/20:80 |
| LV-T13正立三目鏡筒 |
| 視場(chǎng)數(shù)25、光分光100:0/0:100 |
| 目鏡 |
CFI目鏡 |
| 物鏡 |
CFI60系列物鏡 |
| 載物臺(tái) |
14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm |
| (透射觀察范圍:354mmx268mm) |
| 帶粗/微動(dòng)切換功能 |
| 微動(dòng)手輪位置固定 |
防靜電 功能 |
從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以?xún)?nèi) |
| 耗電 |
1.2A/90W |
| 尺寸 |
約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時(shí)) |