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      021-39530106
      金相顯微鏡(日本)
      STM7 奧林巴斯測量顯微鏡

      STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,測量人員

      是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

      STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡測量能力實(shí)現(xiàn)**測量多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了好的的觀察性能

      服務(wù)熱線:021-39530106
      產(chǎn)品詳情

      STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,測量人員

      是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。

      STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡測量能力實(shí)現(xiàn)**測量多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了好的的觀察性能

      STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被完全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

            微信圖片_20201127182731.png       

      花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺基座增強(qiáng)了測量的可靠性

      為了進(jìn)一步保證測量精度,STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達(dá)亞微米水平,同時確保降低誤差。


      STM7-LF FEM 分析

      作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

      隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為*成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動

      反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

                                                                                                                      主動反射,共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路

      嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

      奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的**度。
      并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。


                                                                                                                                     測量顯微鏡溯源系統(tǒng)

      STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

      提供適合您樣品尺寸的載物臺

      常見問題

      u短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。

      u目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。

      在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)

      事費(fèi)時,

      效率不高。

      u由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時測量。

       

      STM7解決方案

      u共有四種正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100mm,

      200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載

      物臺會適合您要測量的樣品。

      u采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺

      也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。

      u300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋

      轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

                            STM7-CS50                              STM7-CS100                                   STM7-CS200                              STM7-CS300

       

      使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

      常見問題

      u大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)S媒鹣辔镧R,無法同時滿足多種觀

      察要求

      STM7解決方案

      uSTM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相

      鏡。這意味著,STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這

      種方式,無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對

      應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*佳的觀察方法。


      測量物鏡
      由于測量物鏡具有較長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大

      的視場。



      金相物鏡可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場,偏光和微分干涉觀察。


                                             明場圖像


                                                   暗場圖像

      手動和電動調(diào)焦模式的選擇
      STM7測量顯微鏡系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列對于Z軸的上下調(diào)焦,有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載
      物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。


      手動Z軸調(diào)焦機(jī)型

      手動Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了較好成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶

      提供了方便。


      電動Z軸調(diào)焦機(jī)型

      使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手

      動的方式進(jìn)行操作,同時電動機(jī)型還可以配備自動聚焦單元。

      控制單元提升了測量顯微鏡的操作性[常見問題]


      增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測量。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況。

      [STM7解決方案]
      控制裝置
      于STM7測量顯微鏡系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎較多的測量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以

      將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。


                                  用于手動Z軸調(diào)焦機(jī)型:
                                  STM7-HS手動操作裝置


                                用于電動Z軸調(diào)焦機(jī)型:
                              STM7-MCZ電動操作裝置

      控制箱
      各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以較大程度地減少占用工作空間。
      提高了觀察和測量效率的光源管理器
      [常見問題]
      傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測量時的光強(qiáng)無法保持一致,導(dǎo)致測量值也發(fā)
      生變化。
      使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時,每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程變的低效。
      [STM7解決方案]
      能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示



      STM7測量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示,保證了能在始終一致的照明條件下實(shí)施觀察。

      物鏡切換時,無需手動調(diào)節(jié)光強(qiáng)
      光強(qiáng)度管理器可
      以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
      值功能,可以為每個物鏡注冊照明方
      式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次
      切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。


                                 5倍
                               強(qiáng)度50


                                20X
                              強(qiáng)度70


                              100X
                            強(qiáng)度120

      可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
      [常見問題]
      需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測量結(jié)果時,因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
      [STM7解決方案]
      能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
      計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡單的實(shí)現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的較小單位可以在
      0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
      可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
      無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在合適位置。當(dāng)用戶站
      著進(jìn)行測量時,可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相
      機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測量,或使用電動Z軸調(diào)焦機(jī)型時,只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)
      行作業(yè)。


                                  計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上


                                         計(jì)數(shù)器放置在工作臺上

      高度測量:聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

      [常見問題]
      進(jìn)行目視測量時,不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法比較耗時,效率低下。
      [STM7解決方案]
      具有較好重復(fù)性、簡單的聚焦系統(tǒng)
      通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進(jìn)行高度測量時,即使是看上去

      非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像,也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
      目視高度測量


      焦點(diǎn)下方


      焦點(diǎn)位置


      焦點(diǎn)上方

      [STM7解決方案]

      奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動聚焦單元,該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時,保障了對焦重復(fù)性。因此,無論操作
      者的經(jīng)驗(yàn)如何,均可以在短的時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)。使用STM7自動對焦單元可以在短時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動反射、共聚焦方法都可

      以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對焦,而小直徑的激光,也能對微小物體,比如引線的自動對焦。



      單次對焦模式
      執(zhí)行自動聚焦后,可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦。
      跟蹤模式
      啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦,即使在移動工作臺的情況下,也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情

      況下也能實(shí)施觀察,從而提高了Z軸的測量效率。

      拓寬了測量觀察范圍的配件

                           編碼物鏡轉(zhuǎn)換器

      將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時切換倍率
      時也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動調(diào)整設(shè)置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。

       

       

                    MM6-EMO正像單目鏡筒

      正立圖像用單目鏡筒??膳cMM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。

                     

                           STM7-FS腳踏開關(guān)

      實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測量。

       

                      SZ-LW61白光LED照明裝置

      具有小型,輕便,使用壽命長,功耗低等特點(diǎn)。此外,這款高性價比的LED照明單元也不會發(fā)生閃爍和亮度波動。

       

      SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置

      SZX-RHS手動控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明,并提供具有高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇

      適合的照明。

       

      旋轉(zhuǎn)載物臺
      使用微調(diào)旋鈕可以實(shí)現(xiàn)對樣品的平行對齊。


      STM7-RS100
      STM7-CS100 100mm×100mm載物臺


      STM7-RS200
      STM7-CS200 200mm×200mm載物臺


      STM7-RS300
      STM7-CS300 300mm×300mm載物臺

      測量支持系統(tǒng)
      即使對復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)快、簡單、精度好的測量,對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說,看的越清楚也就能方便快捷地使用和測量。為了支持高精度、高復(fù)

      雜性的測量,奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。

      小型手動鏡架
      STM7-SF
      小型電動鏡架
      STM7-SFA
      中型手動鏡架
      STM7-MF
      中型電動鏡架
      STM7-MAF
      大型手動鏡架
      STM7-LF
      大型鏡架
      STM7-LFA
           
      顯微鏡
      鏡架

      聚焦
      垂直移動范圍 175 mm 145 mm
      大的測量高度 120 mm(配備測量物鏡)
      175 mm(配備金相物鏡)
      90 mm(配備測量物鏡)
      145 mm*1(配備金相物鏡)
      Z軸測量分辨率 0.1 μm
      Z軸驅(qū)動方法 手動同軸
      微調(diào)/粗調(diào)
      焦旋鈕
      電馬達(dá)驅(qū)動:
      ●聚焦按鈕:
      移動速度
      8 mm/s(大)
      ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
      微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
      一周移動量)
      有4檔可供選擇
      (800 μm,400μm,
      100 μm,50 μm)
      手動同軸
      微調(diào)/粗調(diào)
      焦旋鈕
      電馬達(dá)驅(qū)動:
      ●聚焦按鈕:
      移動速度
      8 mm/s(大)
      ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
      微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
      一周移動量)
      有4檔可供選擇
      (800 μm,400μm,
      100 μm,50 μm)
      手動同軸
      微調(diào)/粗調(diào)
      焦旋鈕
      電馬達(dá)驅(qū)動:
      ●聚焦按鈕:
      移動速度
      8 mm/s(大)
      ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
      微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
      一周移動量)
      有4檔可供選擇
      (800 μm,400μm,
      100 μm,50 μm)
      照明 LED照明 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
      鏡筒 正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)
      物鏡 測量顯微鏡用 MM6-OB系列
      金相顯微鏡用 MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
      目鏡    MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)     
      載物臺 測量范圍 STM7-CS50:
      X軸 50 mm, Y軸 50 mm
      STM7-CS100:
      X軸 100 mm, Y軸 100 mm
      STM7-CS200:
      X軸 200 mm, Y軸 200 mm
      STM7-CS300:
      X軸 300 mm, Y軸 300 mm
      測量**度
      (L:測量長度)
      STM7-CS50: (3+L/50) μm
      STM7-CS100: (3+2L/100) μm
      (3+4L/200) μm (3+6L/200) μm
      **度保證重量 STM7-CS50: 5 kg
      STM7-CS100: 6 kg
      10 kg 15 kg
      計(jì)數(shù)器顯示 軸數(shù) 3軸
      單位 毫米/微米/英寸/密耳   
      小分辨率 0.1 μm
      外形尺寸(寬×長×高)(mm) 466 x 583
      x651
      466 x 583 x 811 606 x 762 x 651 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 686 804 x 1024 x 844
      重量 約84 kg 約92 kg 約152 kg 約159 kg 約277 kg 約284 kg
      額定功率 100-120/220-
      240V ~
      50/60Hz
      0.3A/0.2A
      100-120/220-
      240V ~ 50/60Hz
      0.6A/0.35A
      100-120/220-
      240V ~ 50/60Hz
      0.3A/0.2A
      100-120/220-
      240V ~ 50/60Hz
      0.6A/0.35A
      100-120/220-
      240V ~ 50/60Hz
      0.3A/0.2A
      100-120/220-
      240V ~ 50/60Hz
      0.6A/0.35A

      *1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

      物鏡工作距離

                                                        倍率 1x 3x 5x 10x 20x 50x 100x
      物鏡
      測量物鏡 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5 - - -
      金相物鏡 MPLFLN系列 明場 - - 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
      LMPLFLN系列 長工作距離 - - 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
      MPLFLN-BD系列 明場/暗場 - - 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
      LMPLFLN-BD系列 明場/暗場
      長工作距離
      - - 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3

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