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一、用途： |
| 干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度 |
| 的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。 |
| 該儀器配有各種附件，還能測量粒狀、加工紋路混亂的表面及低反射率 |
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的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。 |
| 儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法 |
| 來評定▽10～▽14光潔度的表面。 |
| 干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間，也適用于高等院校、 |
| 科學(xué)研究等單位。 |
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干涉顯微鏡 6JA |
二、主要技術(shù)規(guī)格： |
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測量表面光潔度范圍（表面粗糙度 ） ▽10～▽14 |
| 工作物鏡的數(shù)值孔徑 |
0.65 |
| 工作距離 |
0.5毫米 |
| 儀器的視場 |
目視 |
φ0.25毫米 |
| 照相 |
0.21×0.15毫米 |
| 儀器的放大倍數(shù) |
目視 |
500倍 |
| 照相 |
168倍 |
| 測微目鏡放大倍數(shù) |
12.5倍 |
| 工作臺升程 |
5毫米 |
| X、Y方向移動范圍 |
≈10毫米 |
| 旋轉(zhuǎn)運動范圍 |
360° |
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三、儀器配置： |
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1、儀器主體
1臺 |
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2、12.5X測微目鏡 1件 |
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3、狹縫目鏡
1件 |
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4、V型塊
1件 |
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5、6V/5W燈泡 2件
（備用） |
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6、變壓器
1只 |
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7、試樣夾
1件 |
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四、選購件： |
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DF相機、電腦成像系統(tǒng)等 |
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| 表面粗糙度與光潔度的關(guān)系參考表 (單位:μm) |
表面粗糙度
GB1031－1983 |
Ra |
0.012 |
0.025 |
0.05 |
0.10 |
0.20 |
0.40 |
0.80 |
1.60 |
3.20 |
6.30 |
12.5 |
25 |
50 |
100 |
表面光潔度
GB1031－1968 |
Ra |
0.01 |
0.02 |
0.04 |
0.08 |
0.16 |
0.32 |
0.63 |
1.25 |
2.5 |
5 |
10 |
20 |
40 |
80 |
等級 |
▽14 |
▽13 |
▽12 |
▽11 |
▽10 |
▽9 |
▽8 |
▽7 |
▽6 |
▽5 |
▽4 |
▽3 |
▽2 |
▽1 |
表面狀態(tài) |
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霧狀鏡面
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鏡狀光澤面
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亮光澤面
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暗光澤面
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不可辨加工痕跡方向
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微辨加工痕跡方向
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可辨加工痕跡方向
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看不清加工痕跡
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微見加工痕跡
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可見加工痕跡
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微見刀痕
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可見刀痕
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明顯可見刀痕 |
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