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021-39530106
工具顯微鏡
晶元半導(dǎo)體檢測(cè)測(cè)量顯微鏡-VMM-3020DS-上海思長(zhǎng)約光學(xué)儀器

◆VMM-3020DS測(cè)量顯微鏡系列是一種集軟件、光、機(jī)、電一體的高精度、高效率的顯微測(cè)量?jī)x器;
◆VMM-3020DS
測(cè)量顯微鏡系列是觀(guān)察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容;
◆VMM-3020DS測(cè)量顯微鏡可以作為觀(guān)察顯微鏡,用相對(duì)量測(cè)法檢查工件表面形狀等非接觸測(cè)量

  為目的各種精密加工業(yè),是計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)車(chē)間不可缺少的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。

服務(wù)熱線(xiàn):021-39530106
產(chǎn)品詳情

 

 

1.產(chǎn)品介紹

1.  本司最新推廣出的Z軸電動(dòng)手脈金相測(cè)量顯微鏡,獨(dú)家使用專(zhuān)業(yè)訂制的高精準(zhǔn)細(xì)分脈沖金相測(cè)量電機(jī),通過(guò)設(shè)置多種脈沖細(xì)分量和機(jī)構(gòu)上的精準(zhǔn)調(diào)校,可以實(shí)現(xiàn)快中慢三檔調(diào)速來(lái)控制Z軸光學(xué)鏡頭上下移動(dòng);

2.    而在選擇低速檔時(shí),我們讓電機(jī)脈沖量的最小化設(shè)置跟傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的最優(yōu)化調(diào)校,可以保證Z軸上下移動(dòng)時(shí),精細(xì)到1UM(甚至更低的分辨率)每格(手脈刻度),而有效地杜絕了了目前市場(chǎng)上主流金相測(cè)量顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生高倍下無(wú)法定準(zhǔn)對(duì)焦面,使用手動(dòng)Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象?。?/span>

◆VMM-3020DS測(cè)量顯微鏡系列是一種集軟件、光、機(jī)、電一體的高精度、高效率的顯微測(cè)量?jī)x器;
◆VMM-3020DS
測(cè)量顯微鏡系列是觀(guān)察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容;
◆VMM-3020DS測(cè)量顯微鏡可以作為觀(guān)察顯微鏡,用相對(duì)量測(cè)法檢查工件表面形狀等非接觸測(cè)量

  為目的各種精密加工業(yè),是計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)車(chē)間不可缺少的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。
 

2.產(chǎn)品特點(diǎn)

Z軸通過(guò)電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制(對(duì)焦精度可達(dá)0.001mm
● 視場(chǎng)寬闊,可得清晰無(wú)閃爍影像

● 高精度測(cè)量,同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度,適用于各種測(cè)量

● 選用無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距明場(chǎng)金相物鏡,滿(mǎn)足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求

● 照明裝置(反射/透射)可選用高亮度LED的照明或鹵素照明

● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀(guān)察測(cè)量

● 各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)

● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)

● 高位目鏡觀(guān)察

● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(??低暺放聘咔?span lang="EN-US">)

 

3.技術(shù)參數(shù)
3.1
主體規(guī)格

◆X坐標(biāo)行程:    300mm)(可選購(gòu) 200mm  400mm  500mm

◆Y坐標(biāo)行程:   200mm)(可選購(gòu) 100mm  400mm  400mm

◆Z坐標(biāo)行程:    200mm
◆X
Y坐標(biāo)測(cè)量示值誤差≤(2+L/200µm ,L為被測(cè)長(zhǎng)度(單位:mm)
◆X
Y、Z數(shù)顯分辨率:0.0001mm  

透射照明光源:24V/20W鹵素鎢燈
反射照明光源
可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心,帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;


3.2
目視系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù):五孔旋轉(zhuǎn)器,標(biāo)配5X10X、20X、50X無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明場(chǎng)金相物鏡

目鏡放大倍數(shù):10X( 單、雙目同)  

總放大倍數(shù):  50X-500X(包括畸變?cè)趦?nèi)的)
物鏡放大倍數(shù)誤差放大率誤差≤0.08%

3.3
影像系統(tǒng)

標(biāo)配CCD相機(jī)0.5X鏡筒

◆CCD千兆網(wǎng)口高清晰CCD攝像頭 (??低暺放聘咔?span lang="EN-US">)

綜合影像最大放大倍數(shù):1000X以上

 

4.軟件功能

l  配備專(zhuān)業(yè)視覺(jué)影像測(cè)量軟件,帶十字線(xiàn)捕捉閃爍功能,可測(cè)量二維平面尺寸(角度、直徑、半徑、點(diǎn)到點(diǎn)的距離、點(diǎn)到線(xiàn)的距離、線(xiàn)到線(xiàn)距離、線(xiàn)到圓的距離、圓到圓的距離等等);

l  圖形自動(dòng)捕捉:開(kāi)啟自動(dòng)捕捉功能后,測(cè)量點(diǎn)、線(xiàn)、圓及圓弧,可自動(dòng)捕捉到最清晰的地方;

l  視覺(jué)拍照功能:可通過(guò)軟件抓拍實(shí)時(shí)產(chǎn)品圖片,然后保存到電腦里,并可通過(guò)軟件調(diào)出圖片進(jìn)行查看或處理;

l  標(biāo)注文字:可在實(shí)時(shí)影像中標(biāo)注文字說(shuō)明;

l  公英制轉(zhuǎn)換:測(cè)量值可在公制和英制之間切換;

l  X、Y清零:可用畫(huà)面十字線(xiàn)設(shè)置任意點(diǎn)為相對(duì)原點(diǎn),將X、Y坐標(biāo)清零;

l  測(cè)量數(shù)據(jù)輸出:可將測(cè)量數(shù)據(jù)或圖形導(dǎo)入WORDEXCEL做報(bào)表;

l   “瀏覽”窗口: 可觀(guān)察工件的全圖形并具有類(lèi)似AutoCAD的縮放功能;

l  輔助功能:可把在軟件中繪制出的圖形進(jìn)行移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、復(fù)制、刪除,并可作任意線(xiàn)段的平行線(xiàn)、垂直線(xiàn);

l  自動(dòng)兩點(diǎn)線(xiàn):在單一畫(huà)面下可自動(dòng)捕捉工件的邊緣,無(wú)須以人工取線(xiàn),減少人眼誤差,提高測(cè)量精度;

l  自動(dòng)三點(diǎn)圓:在單一畫(huà)面下可自動(dòng)捕捉工件的圓半徑、直徑,并繪出圖形,無(wú)須以人工取圓,減少人眼誤差,提高測(cè)量精度;

l  自動(dòng)多點(diǎn)線(xiàn):自動(dòng)捕捉工件邊緣,然后根據(jù)工件邊緣擬合出圖形,從而減少兩點(diǎn)取線(xiàn)及人眼的誤差;

l  自動(dòng)多點(diǎn)圓:自動(dòng)捕捉工件邊緣,然后擬合出工件的孔徑,并繪出圖形,從而減少三點(diǎn)取圓及人眼的誤差;

l  自動(dòng)圓:在單一畫(huà)面下用鼠標(biāo)框中圖形,可快速自動(dòng)捕捉出圓.;

l  設(shè)定工件坐標(biāo):可以根據(jù)客戶(hù)本身的需要在影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定工件坐標(biāo),有兩點(diǎn)確定X軸、兩點(diǎn)確定Y軸或三點(diǎn)確定坐標(biāo)系等多種設(shè)定方法;

l  具有坐標(biāo)平移、坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)及坐標(biāo)分中等功能:

l  坐標(biāo)標(biāo)注:可標(biāo)注工件中任意點(diǎn)的坐標(biāo)值;

l  Pitch標(biāo)注:可標(biāo)注任意點(diǎn)到一條直線(xiàn)的垂直距離,可標(biāo)注任意兩線(xiàn)的垂直距離;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

配置清單

 

序號(hào)

  稱(chēng)

數(shù) 

 

1

主機(jī)(Z軸電動(dòng)手邁)

1

 

2

目鏡觀(guān)察頭

1

 

3

10X平場(chǎng)目鏡

1

 

4

10X平場(chǎng)分劃目鏡

1

 

5

5X物鏡

1

 

6

10X物鏡

1

 

7

20X物鏡

1

 

8

50X物鏡

1

 

9

偏光裝置 起偏檢偏

1

 

10

反射照明器

1

 

11

LED燈箱

1

 

12

0.5X適配鏡

1

 

13

二維影像測(cè)量軟件

1

 

14

??低曄鄼C(jī)

1

 

15

標(biāo)定板

1

 

16

電源線(xiàn)

1

 

17

儀器工作臺(tái)

1

 

18

聯(lián)想計(jì)算機(jī)

1

 

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