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公司產(chǎn)品 |
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| IC以及4”硅片檢查顯微鏡BX51M BX51 歡迎來(lái)電:021-39530106 |
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IC以及4”硅片檢查顯微鏡BX51M
BX51M
新一代UIS2光學(xué)系統(tǒng),采用波前像差控制技術(shù)確保了世界最高等級(jí)的成像
A new standard of the objective lens performance, using wavefront aberration control.
The Olympus UIS2 objective lenses set a new standard, with wavefront aberration control in addition to common performance standards of N.A. and W.D. Olympus challenges farther highest order optics which has not been fulfilled by the conventional standards. We offer excellent performance objective lenses by minimizing the aberrations that lower resolution.
An example of 3D display of a wave front measured with a laser interferometer. The flatter the surface of the lens, the better the aberration correction becomes.
可以實(shí)現(xiàn)透反射/反射,明場(chǎng)法,暗場(chǎng)法,偏光法,微分干涉法,熒光法,紅外法 高質(zhì)量觀察從1.25X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X各種系列的物鏡可供選擇
適用于從半導(dǎo)體,LCD,LED,到金相分析,材料分析的各種用途
可配用手動(dòng)開(kāi)關(guān)可切換的各種電動(dòng)換鏡轉(zhuǎn)盤(pán)
光學(xué)系統(tǒng) |
無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察筒 |
30°傾斜，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0或0:100 |
30°傾斜，倒像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，三檔分光比雙目:三目=100：0或20:80或0:100 |
目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X25mm，視度可調(diào) |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X25mm，帶單刻度十字分劃板，視度可調(diào) |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X26.5mm，視度可調(diào) |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X26.5mm，帶單刻度十字分劃板，視度可調(diào) |
物鏡 |
明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） |
明場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X、100X） |
物鏡轉(zhuǎn)換器
（帶DIC插槽） |
明暗場(chǎng)5孔轉(zhuǎn)換器，明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器 |
明場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器，明場(chǎng)7孔轉(zhuǎn)換器 |
機(jī)架 |
透反兩用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),雙路電源輸出，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能、反射/透射光切換開(kāi)關(guān),內(nèi)置透射光濾色鏡（LBD、ND6、ND25) |
反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
載物臺(tái) |
右手位4英寸機(jī)械平臺(tái)，行程105mmx102mm，帶Y軸鎖定機(jī)構(gòu)，可帶透射系統(tǒng)擋光板，帶玻璃載物臺(tái)板 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
反射照明器 |
明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 |
燈 室 |
12V100W鹵素?zé)羰�，透、反射通用，預(yù)定中心 |
其他附件 |
攝影攝像附件：0.5X，C型接口，可調(diào)焦 |
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
DIC微分干涉組件 |
反射用干涉濾色片：藍(lán)色≤ 480nm 綠色：520nm-570nm 紅色：630nm-750nm |
色平衡片（白光） |
高精度型測(cè)微尺，格值0.01mm |
100X100mm載物臺(tái)板,確保能放置最大4英寸的晶片
BX51-IR
可對(duì)裸眼不可見(jiàn)的區(qū)域進(jìn)行無(wú)損的檢查和分析,以及近紅外觀察特化的顯微鏡. 能對(duì)半導(dǎo)體晶片內(nèi)部和集成電路組件背面進(jìn)行無(wú)損的CPS bumps觀察
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