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CDW-3000S-DT激光平面干涉儀是一款新型的非接觸高精度無(wú)損光學(xué)表面測(cè)量設(shè)備。它基于菲索干涉原理，通過(guò)分析干涉條紋來(lái)確定光學(xué)表面面形。該設(shè)備集成了先進(jìn)的光學(xué)、機(jī)械和電子技術(shù)，具有不損傷被測(cè)物品、測(cè)量精度高、測(cè)量時(shí)間短的特點(diǎn)；實(shí)現(xiàn)了對(duì)準(zhǔn)光路和成像光路的電子切換，方便了用戶(hù)的使用。

CDW-3000S-DT可以用于檢測(cè)高精度光學(xué)元器件、光盤(pán)、硬盤(pán)等，適用于車(chē)間加工過(guò)程的在線(xiàn)檢測(cè)，可整盤(pán)檢測(cè)。在科學(xué)研究、精密器件加工、光學(xué)零件測(cè)試等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。  

CDW-3000S-DT主要技術(shù)指標(biāo)

配置清單

一 ，主要數(shù)據(jù)

1. 第一標(biāo)準(zhǔn)平面（A面）,不鍍膜。工作直徑：D1=φ285mm不平度小于0.05um
   2.第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），不鍍膜。工作直徑：D2=φ285mm 不平度小于0.08um
   3.準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8，工作直徑：D0=φ285mm 焦距：f=400mm
   4.測(cè)微目鏡：焦距f=16.7mm，放大倍數(shù)β=15X，視場(chǎng)角2W=40°，成像物鏡：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37
   5.工作波長(zhǎng)：632.8nm
   6.干涉室尺寸：深400寬500*400mm。
   7.光源規(guī)格：激光ZN18（He-Ne）。
   8.儀器的外形尺寸：長(zhǎng)*寬*高 500*600*1200mm
   9.儀器重量：150公斤