介紹
VMM測(cè)量顯微鏡系列是觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容。
特點(diǎn)
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍正像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 可選用高NA物鏡，滿(mǎn)足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 便捷CCD圖像成像，可選配多種CCD數(shù)碼相機(jī)
觀察成像
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偏光觀察
觀察過(guò)濾后只有一個(gè)方向振動(dòng)的光。適于觀察具有特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。 |
微分干涉對(duì)比觀察
在檢測(cè)金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。 |
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暗視場(chǎng)觀察
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過(guò)高對(duì)比度能觀察到在亮視場(chǎng)看不到的劃痕和粉末。 |
亮視場(chǎng)觀察
最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
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新功能增強(qiáng)Z軸測(cè)量精度
● 輔助對(duì)焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對(duì)焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降到最低。
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對(duì)焦 |
前端對(duì)焦 |
后端對(duì)焦 |
規(guī)格
● 無(wú)限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場(chǎng)WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長(zhǎng)度180mm，微動(dòng)精度0.002mm，測(cè)量精度（at20℃），XY-軸的（2.5+0.02L）um，L=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）在沒(méi)有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) |
VMM-8Ⅰ型 |
VMM-8Ⅱ型 |
VMM-8 Ⅲ型 |
VMM-8
Ⅳ型 |
VMM-12Ⅰ型 |
VMM-12Ⅱ型 |
VMM-12Ⅲ型 |
VMM-12
Ⅳ型 |
鏡筒 |
1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 |
觀察圖像 |
正像 |
觀測(cè)方法 |
輔助對(duì)焦系統(tǒng) |
- |
- |
頭部或照明器FA系統(tǒng) |
頭部或照明器FA系統(tǒng) |
- |
- |
頭部或照明器FA系統(tǒng) |
頭部或照明器FA系統(tǒng) |
微分干涉對(duì)比 |
可選微分觀測(cè)對(duì)比 |
目鏡 |
10X(視場(chǎng)直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場(chǎng)直徑：22mm |
物鏡(100x選配) |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm 5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm
5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm 5x,
10x,20x,
50x |
95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x |
60mm
5x,
10x,20x,
50x |
照明裝置 |
反射照明 |
內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無(wú)極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 |
透射照明 |
白色LED照明，無(wú)極亮度調(diào)節(jié) |
工作臺(tái) |
XY測(cè)量范圍 |
200*100 |
200*100 |
200*100 |
200*100 |
300*200 |
300*200 |
300*200 |
300*200 |
快速釋放裝置 |
X軸和Y軸（標(biāo)配） |
調(diào)零開(kāi)關(guān) |
X軸和Y軸（標(biāo)配） |
數(shù)顯計(jì)器 |
顯示軸 |
2軸或3軸 |
分辯率 |
0.0005mm（可選0.00002mm） |
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VMM-8-Ⅰ型主圖 |
VMM-8-Ⅱ型主圖 |
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VMM-8-Ⅲ型FA主圖 |
VMM-8-Ⅳ型FA主圖 |
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VMM-12-Ⅰ型主圖-95mm |
VMM-12-Ⅱ型主圖-60mm |
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VMM-12-Ⅲ型FA主圖-95mm |
VMM-12-Ⅳ型FA主圖-60mm |
介紹
95MM金相長(zhǎng)工作距離明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑焦距200mm
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
平場(chǎng)復(fù)消色差M PLAN APO L |
數(shù)值孔徑N.A. |
工作距離W.D. |
焦距f |
景深D.F. |
分辨率R |
視場(chǎng) |
目鏡(WF10/24) |
1/2"CCD攝像頭 |
2X |
0.055 |
34.6 |
100 |
91μ |
5μ |
Φ12 |
2.4x3.2 |
5X |
0.14 |
45 |
40 |
14μ |
2μ |
Φ4.8 |
0.96x1.28 |
10X |
0.28 |
34 |
20 |
3.5μ |
1μ |
Φ2.4 |
0.48x0.64 |
20X |
0.29 |
30.8 |
10 |
3.5μ |
1μ |
Φ1.2 |
0.24x0.32 |
50X |
0.42 |
20.5 |
4 |
1.6μ |
0.7μ |
Φ0.45 |
0.10x0.13 |
100X |
0.55 |
12.5 |
2 |
0.9μ |
0.5μ |
Φ0.24 |
0.05x0.06 |
介紹
60MM金相平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 物鏡螺紋M26 x 0.706
技術(shù)參數(shù)
名稱(chēng) |
物鏡 |
目鏡(WF10/25) |
數(shù)值孔徑N.A. |
有效工作距離W.D.(mm) |
焦距f′(mm) |
分辨率R(μm) |
物理焦深±Δp(μm) |
物方視場(chǎng)(mm) |
焦點(diǎn)深度±Δ(μm) |
5X |
0.15 |
11.6 |
40 |
2.1 |
16.3 |
Φ5 |
38.3 |
10X |
0.3 |
6.3 |
20 |
0.9 |
3.1 |
Φ2.5 |
7.8 |
20X |
0.4 |
10.3 |
10 |
0.69 |
1.8 |
Φ1.25 |
3.5 |
50X |
0.8 |
2 |
4 |
0.34 |
0.4 |
Φ0.5 |
0.8 |
100X |
0.80 |
1.96 |
2 |
0.34 |
0.2 |
Φ0.25 |
0.6 |
介紹
45MM金相平場(chǎng)消色差明場(chǎng)物鏡。
特點(diǎn)
● 可見(jiàn)光成像
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，管徑200mm
● 物鏡螺紋M20.32
技術(shù)參數(shù)
名稱(chēng) |
物鏡 |
目鏡(WF10/25) |
數(shù)值孔徑N.A. |
有效工作距離W.D.(mm) |
焦距f′(mm) |
分辨率R(μm) |
物理焦深±Δp(μm) |
物方視場(chǎng)(mm) |
焦點(diǎn)深度±Δ(μm) |
5X |
0.13 |
11.6 |
40 |
2.1 |
16.3 |
Φ5 |
38.3 |
10X |
0.3 |
6.4 |
20 |
0.9 |
3.5 |
Φ2.5 |
7.8 |
20X |
0.4 |
11.1 |
10 |
0.7 |
1.6 |
Φ1.25 |
3.5 |
50X |
0.55 |
8.2 |
4 |
0.5 |
10.9 |
Φ0.5 |
1.4 |
100X |
0.80 |
2 |
2 |
0.4 |
0.4 |
Φ0.25 |
0.7 |
微分干涉介紹
微分干涉DIC在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專(zhuān)為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。
晶元半導(dǎo)體臺(tái)階測(cè)高顯微鏡，晶元半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡，晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡，半導(dǎo)體測(cè)量顯微鏡,FPD檢查顯微鏡，F(xiàn)PD檢測(cè)顯微鏡，F(xiàn)PD測(cè)量顯微鏡 |
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