MX6R半導(dǎo)體檢查顯微鏡各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。
MX6R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì)，可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用，進(jìn)行功能選擇。
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實(shí)際方向相同，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同，便于觀察與操作。
大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì)，行程158×158mm，可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測級(jí)顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過熱。
技術(shù)參數(shù)
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) | |
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觀察方式 |
明場/暗場/偏光/DIC |
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觀察筒 |
30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，分光比100:0或0:100 |
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| 30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，三檔分光比0:100；20:80；100:0 | ||
| 5-35°傾角可調(diào)，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，單邊視度調(diào)節(jié)：±5屈光度，兩檔分光比100:0或0:100 | ||
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目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/22mm，視度可調(diào)，可帶側(cè)微尺 |
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| 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/23mm，視度可調(diào) | ||
| 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào) | ||
| 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/26.5mm，視度可調(diào) | ||
| 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL15X/16mm | ||
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物鏡 |
無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X |
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| 明暗場半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | ||
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轉(zhuǎn)換器 |
5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
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調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭 |
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| 透、反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)，5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光獨(dú)立可控 | ||
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載物臺(tái) |
6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺(tái)面積445mm×240mm，移動(dòng)范圍：158mm×158mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板（反射用） |
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| 6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺(tái)面積445mm×240mm，反射照明移動(dòng)范圍：158mm×158mm；透射照明移動(dòng)范圍：100×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板（透、反射用） | ||
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照明系統(tǒng) |
明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
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攝影攝像 |
0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
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其他 |
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ；反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 微分干涉組件 |
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